Wellenfront-basierte Prüfung von Wafer-Level-Optik

Präzise und effizient

Bei der Prüfung von Optiken auf Wafer-Level kommt es neben Präzision insbesondere auf Effizienz an, da in möglichst kurzer Zeit eine hohe Zahl an Optiken geprüft und dokumentiert werden muss. Aus Gründen der Wirtschaftlichkeit muss die Prüfung von Wafer-Level-Optik automatisiert erfolgen.

Wellenfrontmesstechnik wird hier beispielsweise eingesetzt, um die Abbildungsqualität einzelner Linsen zu prüfen, die später in Smartphone-Objektiven verbaut werden. Auch deren Werkzeuge und Master-Formen werden geprüft, z.B. durch eine Auflichtmessung der 3D-Oberflächenform. Ein weiteres Beispiel ist die Prüfung von Mikrolinsen mit Durchmessern bis hinab zu 50µm.

Schnell und hochautomatisiert

Die Wellenfrontmessung basiert auf einem einzelnen Kamerabild und ist daher sehr schnell. Darüber hinaus zeichnet sie sich durch eine hohe intrinsische Stabilität aus.

Optocrafts Mess-Module sind eine leistungsfähige, vollautomatisierte Messlösung für die Fertigung in hohen Stückzahlen. Die flexiblen Kommunikations-Schnittstellen der mitgelieferten Shack-Hartmann Software SHSWorks erlauben eine einfache und schnelle Integration in eine Fertigungslinie, sowohl mechanisch wie auch software-seitig.

Unsere Lösung für die Prüfung von Wafer-Level-Optik

Die Systeme und Module der SHSInspect Prüfplattform liefern neben transmittierter Wellenfront, PSF und MTF Informationen zu Farbfehlern, Brennweite und Polarisationseffekten und ermöglichen die Messung an Feldpunkten.
SHSLab Wellenfrontsensoren ermöglichen eine präzise und schnelle Wellenfrontmessung in einem breiten Wellenlängenbereich.

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